规格 | 中心高 | 测量直径 | 精度 | |
平行方向μm | 垂直方向μm | |||
200 | 100 | 130 | ≤6 | ≤4 |
300 | 170 | 270 | ≤8 | ≤5 |
300 | 250 | 420 | ≤8 | ≤5 |
300 | 300 | 520 | ≤8 | ≤5 |
500 | 170 | 270 | ≤8 | ≤5 |
500 | 250 | 420 | ≤8 | ≤5 |
500 | 300 | 520 | ≤8 | ≤5 |
1000 | 170 | 270 | ≤10 | ≤8 |
1000 | 250 | 420 | ≤10 | ≤8 |
1000 | 300 | 520 | ≤10 | ≤8 |
1500 | 250 | 400 | ≤16 | ≤15 |
2000 | 250 | 400 | ≤30 | ≤20 |